性質(zhì)：

極紫外光能夠電離幾乎所有的組成普通物質(zhì)的原子和分子的特性使得它無法在普通物質(zhì)（包括空氣）中傳播，只能在真空中傳播，所以極紫外光也稱為真空紫外光。因此，極紫外激光無法在普通物質(zhì)中產(chǎn)生和放大，只能在“特殊物質(zhì)”中產(chǎn)生，這個(gè)“特殊物質(zhì)”就是脫離原子核而單獨(dú)存在的自由狀態(tài)的電子。

根據(jù)電動(dòng)力學(xué)原理，加速運(yùn)動(dòng)的電子會(huì)向外輻射電磁波，尤其是來回變向跑動(dòng)（振蕩）的電子輻射電磁波能力非常強(qiáng)。常用的無線信號(hào)，無論是電視還是手機(jī)，都是通過驅(qū)使電子在天線里來回振蕩發(fā)射電磁波。在大量極紫外相干光源中，時(shí)間寬度為幾個(gè)皮秒（1皮秒 = 1萬億分之一秒）的脈沖激光（驅(qū)動(dòng)激光）在光陰極上打出一簇高密度的脈沖電子，利用直線加速器將這個(gè)脈沖電子束加速到3億電子伏特的能量（這相當(dāng)于讓電子穿越3億伏的超高壓電場(chǎng)）。這時(shí)，由于相對(duì)論效應(yīng)，電子的速度與光速非常接近。再用另一束皮秒或者亞皮秒時(shí)間寬度的強(qiáng)激光（種子激光）照射在這個(gè)高能電子束上，電子束中的電子在種子激光的電磁場(chǎng)的作用下，就會(huì)按照激光的波長(zhǎng)在空間重新分布（調(diào)制），其中含有豐富的諧波成分。然后讓空間分布被調(diào)制的電子束繼續(xù)穿越一系列周期性變化的磁場(chǎng)（即波蕩器）。

極紫外光

根據(jù)電磁學(xué)原理，電子在周期性磁場(chǎng)中會(huì)一邊以光速向前飛行，一邊左右擺動(dòng)，這樣電子就會(huì)向前輻射出光線。由于電子飛行的速度和光速非常接近，電子在飛行途中各處發(fā)射的光會(huì)疊加增強(qiáng)，同時(shí)電子自身輻射的光也在調(diào)制電子自己的空間分布，從而使得電子更加強(qiáng)烈地輻射光線。如果適當(dāng)?shù)剡x擇周期性磁場(chǎng)的強(qiáng)度，就會(huì)使得種子激光中的某個(gè)諧波成分按照前述方式急劇地自激放大并達(dá)到飽和，從而輸出極紫外光。